半導(dǎo)體芯片測試?yán)渌畽C簡介：  

半導(dǎo)體芯片測試?yán)渌畽C主要由制冷系統(tǒng)、循環(huán)系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。制冷系統(tǒng)采用蒸汽壓縮式制冷，循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱器、膨脹容器、排氣閥、單向閥、熱電阻、循環(huán)管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運行。通過機組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。  

設(shè)備特點：  

1.超高溫降溫技術(shù)：采用超高溫降溫技術(shù)，可以滿足在最高300℃高溫直接開啟壓縮機制冷降溫。  

2.控制重復(fù)性：基于高級動態(tài)控制系統(tǒng)，每次都能實現(xiàn)一致的控制結(jié)果，大大提升產(chǎn)品生產(chǎn)的穩(wěn)定性。  

3.質(zhì)量保障：所有的關(guān)鍵部件均選用進(jìn)口品牌，確保產(chǎn)品長時間可靠運行。同時所有產(chǎn)品發(fā)貨前均經(jīng)過嚴(yán)格測試與檢驗，確保設(shè)備到客戶現(xiàn)場不會出現(xiàn)任何問題。  

4.產(chǎn)品外觀：外觀設(shè)計吸取國外進(jìn)口產(chǎn)品的設(shè)計理念，采用大口徑石英玻璃液位計，液位計與操作屏放在同一側(cè)，觀察方便，風(fēng)格簡約時尚，比列協(xié)調(diào)，專有的色彩搭配。  

5.全密閉系統(tǒng)：采用全密閉式系統(tǒng)設(shè)計，整個循環(huán)管路只有加液蓋上留出的呼吸孔，導(dǎo)熱油不會直接與空氣接觸，延長了導(dǎo)熱油使用壽命同時確保系統(tǒng)運行的穩(wěn)定性，膨脹油箱始終保持在常溫狀態(tài)，高溫時無油霧產(chǎn)生，低溫不會結(jié)霜。  

6.控溫系統(tǒng)：自主開發(fā)的溫度控制模塊，改變控制設(shè)定的方法，能夠盡快的響應(yīng)過程中系統(tǒng)的滯后，得到最小的溫度過沖?？刂朴蓛山MPID(每組PID是可變的)控制回路構(gòu)成，這兩組控制回路成為主回路和從回路，主回路的控制輸出作為從回路的設(shè)定值。系統(tǒng)采用帶有前饋PV，主控回路的PID運行結(jié)果的輸出與前饋PV信號復(fù)合后作為主控回路的設(shè)定值，通過這樣對溫度變化進(jìn)行梯度控制，保證系統(tǒng)的溫度精度。  

7.高效換熱系統(tǒng)：系統(tǒng)采用管道式加熱冷卻，參與循環(huán)的液體非常少，制冷采用板式換熱器，換熱效率高、結(jié)構(gòu)緊湊，加熱采用管道式法蘭加熱器，整個系統(tǒng)的容積(板式換熱器容積+管道式加熱器容積+循環(huán)泵內(nèi)容積+循環(huán)管路容積)。